MaxMT 化學(xué)物質(zhì)分配系統(tǒng)是很大限度提高化學(xué)物質(zhì)利用率的創(chuàng)新解決方案，是 Entegris 下一代 ND-CD 連接器產(chǎn)品的代表。該分配系統(tǒng)由一個控制盒和兩個連接器組成，具有 A-B 切換、頂空氣體清除和空檢測功能。使用一個控制箱和兩個連接器能大限度地提高化學(xué)品利用率。

控制箱，提供一個用戶界面，其中包含有效操作系統(tǒng)和控制分配過程的邏輯

帶空檢測技術(shù)的兩個連接器，便于從罐中分配化學(xué)品，包括在分配化學(xué)品前清除頂空氣體和檢測空狀態(tài)的技術(shù)

自動 A-B 切換，有助于降低運(yùn)行成本

化學(xué)品分配系統(tǒng)設(shè)計，可很大限度地利用化學(xué)品，減少氣泡缺陷

控制箱：提供用戶界面，其中包含有效操作系統(tǒng)和控制分配過程的邏輯

連接器：兩個，帶空檢測技術(shù)

EDA-B：MaxMT 連接器支架

EDA-D：用于 MaxMT 系統(tǒng)連接器的氣體清潔夾具

EDA-E：用于 MaxMT 系統(tǒng)連接器的溶劑清潔夾具

EDA-G：進(jìn)出延長電纜套件

ND-ED-CB-2：MaxMT 控制箱

ND-ED-CN-2：MaxMT 分配連接器

ND-ED-S-2：MaxMT 化學(xué)物質(zhì)分配系統(tǒng)

PA-06：探頭O型環(huán)，Kalrez，2個

PA-08：保持器 O 形圈，三元乙丙橡膠，10 個

產(chǎn)地：美國

電源：24 V直流，Min 1 A服務(wù)

壓力：551.6 kPa（80 psig），要求高純度硝化甘油（5.0 級或以上）

電源：24 VDC，3 線母電源電纜，帶用于客戶接口的松散引線

用于工具接口的空檢測信號：3 線制 6 觸點公連接器

氮氣供應(yīng)：直徑為 8 mm的管接頭（不包括氮氣供應(yīng)管）

結(jié)構(gòu)材料：非浸濕

外殼：不銹鋼

窗口：聚四氟乙烯涂層聚碳酸酯

啟動和停止按鈕、開/關(guān)開關(guān)、緊急停止 (EMO) 按鈕：聚酯

標(biāo)簽：鋁

空氣接頭：不銹鋼

空檢測信號電纜：聚丙烯

電源線：聚丙烯

排氣消聲器：聚乙烯、聚縮醛

控制盒與連接器之間的管路/電線距離：1.8 m（6 英尺）

重量：10.6 kg（23.3 磅）

螺紋類型：2-1/4 ACME 雙啟動

Max工作壓力：103.4 kPa（15 psig）（美國境內(nèi)）；206.8 kPa（30 psig）（美國境外）

連接器泄壓閥：241.3 kPa（35 psig）標(biāo)稱開啟壓力

流體溫度：25 °C (77 °F)

光阻/色阻、用于微電子應(yīng)用的低粘度材料、其他液體材料涂層市場、該系統(tǒng)與生產(chǎn)工具集成，設(shè)計用于 10 至 40 升 NOWPak 內(nèi)襯罐系統(tǒng)和蓋子