更換 KF 定心環(huán)，便于安裝。用于在初始抽空期間對低真空泵進行節(jié)流。當?shù)驼婵毡眠\行時，初始流量會導致葉片組件關閉——自動對泵進行節(jié)流。當達到設定的壓差時，閥門會自動打開。

• 304 不銹鋼結構，帶 Elgiloy 彈簧
• 溫度100°C
• 通過降低初始抽速來減少系統(tǒng)中的湍流*
• 非常適合對系統(tǒng)內顆粒破壞敏感的應用（半導體、薄膜等）
• 在對系統(tǒng)進行排氣時，也可與排氣閥一起使用，以避免過高壓差和高湍流
• 有助于防止基材損壞
• 取代昂貴的壓力控制旁通閥
• 在測試期間12 毫秒快速關閉葉片 或更好**
• 無需電源即可運行

*使用軟啟動止回閥的典型抽空時間增加了 3 倍。

**測試時間使用 27 CFM 泵抽空 100 升的體積測量。結果會因系統(tǒng)配置而異。