V70S 系列矩形閘閥采用創(chuàng)新的雙氣缸設(shè)計(jì)，與標(biāo)準(zhǔn) V74 系列相比，占地面積更小。該閥采用與 V74 相同的 L-Motion 機(jī)構(gòu)，并具有可拆卸的頂蓋，便于閘門密封維護(hù)。

• 可拆卸閥殼蓋
• 半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（Semi E21-94、Semi E24-92、Semi E21.1-1296）
• L-motion 連桿和執(zhí)行器中無彈簧的雙換檔可實(shí)現(xiàn)更快、更平穩(wěn)的驅(qū)動，同時降低振動
• 閥蓋法蘭真空側(cè)的防塵密封，幾乎消除顆粒進(jìn)入波紋管
• 機(jī)械鎖定，因此在閘門行程結(jié)束時閥門鎖定到位
• 焊接波紋管執(zhí)行器密封
• 閥蓋法蘭螺栓設(shè)計(jì)有保持器，以防止螺栓在拆卸時脫落

可定制尺寸

各種 O 型圈化合物（Kalrez、Chemraz 等）

等離子蝕刻、CVD、濺射沉積

太陽能電池板的制造

半導(dǎo)體加工

LCD/平板工藝

所有其他集群真空系統(tǒng)