VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器專為半導體負載鎖定壓力控制和其他需要準確測量相對于大氣環(huán)境壓力的真空應用而設計。與傳統(tǒng)的負載鎖定傳感器和其他負載鎖定傳感器解決方案相比，它具有同類更高的性能，測量范圍更廣、精度更高、測量周期更快。SmartPirani ATM 基于一項正在申請許可的技術，該技術將導熱性皮拉尼熱損失真空計的可用測量范圍擴大了 1-3 倍，從而確立了新的標準。一體化多傳感器傳感器解決方案，VPM-7 是一款多傳感器傳感器，具有四個壓力輸出，結合了氣壓環(huán)境傳感器、寬量程熱損耗皮拉尼真空計、膜片傳感器和相對于大氣壓力的信號，可優(yōu)化現(xiàn)代負載鎖定真空室的壓力控制。隔膜傳感器的讀數(shù)不受氣體影響，Abs壓力范圍為 2 至 1333 mbar。

1E-6 至 1333 mbar 寬測量范圍

MEMS Pirani 和壓電傳感器組合

獨立于 2 至 1333 mbar的氣體

用于負載鎖定壓力控制的大氣切換功能

數(shù)字、模擬和設定點控制功能

1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開觸點）

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點）

11 繼電器 2 公共端

12 繼電器 2 常開（常開觸點）

13 繼電器 3 常開（常開觸點）或模擬輸出 2

14 繼電器 3 公共端

15 繼電器 3 常開（常開觸點）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉 USB，9 針 D 型超微，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針 D 型超微，電源 (90 至 230 VAC)

產(chǎn)地：丹麥

法蘭：DN16KF

傳感器：MEMS Pirani / Piezo / Atm.

傳感器保護：標準

通訊：RS-485

輸出：MKS900

單位：mbar

設定點：3 個繼電器

連接器：15p HD D-Sub

測量范圍：1E-6 至 1333 mbar

工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 ℃

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 ℃

儲存環(huán)境溫度：-40 至 +120 ℃

烘烤溫度（非工作）：+120 ℃

Max介質(zhì)壓力Abs：10 bar

安裝位置：任意

防護等級，EN 60529/A2：2013：IP 40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

半導體行業(yè)、分析儀器、綠色和可持續(xù)技術、工業(yè)涂料、航空航天工業(yè)