168 大型 HV 擺式隔離閥即使在惡劣的工藝條件下也能提供可靠的隔離性能。它非常適合大流量應(yīng)用中的隔離要求，例如大型涂層或顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)。因此，它提供 DN 400 和 500mm 兩種規(guī)格。168 閥門提供可選的 3 位氣動或標(biāo)準(zhǔn)氣動，均為雙作用。

憑借其特殊的分體式設(shè)計，無需拆卸管道連接或工藝室連接即可進(jìn)行維護(hù)。其纖薄的設(shè)計允許將 168 直接安裝到制程腔體，從而消除了例如腔室 - 閥門 - 泵連接中通常需要的體積。

憑借其堅固的設(shè)計以及多種設(shè)計選項，168 系列易于集成到各種真空工藝中。

168系列已在全球數(shù)百個批量和在線生產(chǎn)系統(tǒng)中安裝在各種工藝條件下，已在各個方面證明了其性能。

• 大真空量的可靠隔離
• 在惡劣條件下也能提供可靠的性能
• 采用狹縫式機(jī)身設(shè)計，維護(hù)快捷方便
• 正常運行時間長
• 運營成本低
• 可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整