大多數(shù)具有競爭力的模塊化氣體輸送系統(tǒng)都受到端口、限流器、堵頭或頂蓋等兼容附件供應(yīng)的限制。Ichor 是一家能提供全系列兼容表面貼裝配件的制造商，這些配件既有表面貼裝配置，也有夾層配置，幾乎可以滿足任何材料的要求。客戶須確保所選部件是符合其防護性能的適當(dāng)部件，同時考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等。

模塊化限流器

1.125" W-密封

3端口，側(cè)面

316L VAR

更高純

限流器訂購：

標注孔徑或以下信息：氣體類型、流量、入口壓力和出口壓力，以便 Ichor 確定合適的直徑。

對于直徑大于 0.005 英寸的限流器，其測試和認證結(jié)果為額定流量的 +/- 5 %；直徑小于 0.005 英寸時，變化幅度可能更大。

產(chǎn)地：美國

產(chǎn)品系列：MFR

配置：側(cè)面

零件類型：模塊式限流器

底座尺寸：1.125 英寸

密封類型：W 形密封

端口數(shù)：3-端口

閥體材料：316L SST semi F20

純度等級：更高純

潤濕表面處理：5 Ra

清洗方式：超聲波清洗

拋光方式：電拋光

流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案